半导体行业里doping concentration是什么意思

来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/05/05 00:15:23
半导体行业里doping concentration是什么意思

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半导体行业里doping concentration是什么意思
是半导体制程里面离子注入(扩散)工艺的术语,指离子注入(参杂)浓度.,即在形成器件的硅衬底有源区参杂电子(5价离子)或者空穴(3价离子),以达成电性要求.